无尘室施工要明确使用需求，制定施工标准，进行无尘室施工规划，一般无尘室施工规划包含建筑规划与工艺规划，无尘室施工规划是一项专业性非常高的技术工作，不仅需要具备建筑知识还要了解无尘室的使用要求，无尘室施工总体规划内容繁多，包含但不仅限于电力、通风、空气净化、设备安装，建筑施工等内容。
在无尘室施工规划当中，首先要具有完整的设计规划图。设计规划图包含平面规划图、家具布置图、摆放示意图、装修设计图、排水设计图、暖通设计图、系统设计图、电气设计图、自动控制设计图等。
除了要有完整的设计规划图之外，无尘室施工规划还有很多设计内容，例如要有无尘室施工的基础设计，包含基础定位、规划设计、功能区域布局设计、流程设计、配电设计、暖通设计、上下水设计、气路设计、通风设计、装修设计、照明设计、空调设计、土建设计以及其他设计。
无尘室施工规划除了要有上述内容之外，还要有人工设计，包含消防、环保、节能、人文、职业、健康以及其他安全设施。无尘室施工优化设计与前瞻性设计也是无尘室施工规划中很重要的一部分内容，对流程优化、环境条件监控优化，无尘室施工管理优化要进行远期规划与灵活性考虑。
